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- 发布日期:2024-09-12 08:32 点击次数:126
人所共知插妹妹综合网,光刻机和芯片工艺是逐个双应的。如下图所示,这是光刻机类型,对应的芯片工艺。
不错看到平庸的DUV光刻机,也即是干式ArF光刻机,最多能制造65/55nm的芯片。
而浸润式DUV光刻机,也即是ArFi光刻机,最多大略制造到7nm的芯片,致使按照林本坚的说法,还不错向5nm芯片工艺鼓舞的。
至于5nm芯片之后,那就必须使用EUV这种极紫外线光刻机了,用DUV光刻机也曾制造不出来了,因为DUV光刻机的色泽波长经水折射也也毕竟有134nm,波长太长,分辨率不够。
而国内之前大略买到扫数的浸润式DUV光刻机,而EUV光刻机买不到,好意思国不允许ASML销售给中国,因为好意思国怕中国研发出了7nm致使更先进的芯片工艺。
自后,好意思国又收尾了ASML,不准出售先进的浸润式DUV光刻机,那时只允许出售两款较旧的浸润式光刻机,差异是TWINSCAN NXT:1970i和1980i深紫外光微影(DUV)系统。
因为那时只消较为先进的浸润式DUV光刻机,才有可能干涉7nm工艺,相对较老的,像1970i和1980i,要干涉7nm相对较阻抑,良率较低,本钱高。
而近日,有媒体报谈称,荷兰政府再次更始了划定,此次连ASML之前大略出口的1970i和1980i这两款老极少的浸润式DUV光刻机,也收尾住了。
荷兰政府天然莫得说仅仅针对中国,但明眼东谈主一看就能看出,即是针对中国的,因为一朝ASML出口这两种机器,也需向荷兰海牙政府央求出口许可证,新政于9月7日讲求见效。
好多东谈主分析称,一是因为天然1970i和1980i要坐褥7nm芯片较难,但其实照旧不错的,毕竟也有前例。二是看到中国芯滥觞很快,较着也曾寥落了好意思国的预期,是以好意思国不敢再让ASML出口1970i和1980i了,之前的芯片也曾是例子了。
好意思国的意图很较着,那即是透澈阻7nm芯片之路,因为一朝这两款也禁了后,就莫得了浸润式DUV光刻机了,莫得了浸润式光刻机,就不能能干涉7nm了吧,至于5nm,天然就愈加没但愿了。
高合自慰再归并之前的不准ASML维修光刻机,也即是说新的不准买插妹妹综合网,旧的坏了不准修,让其酿成废铁,好意思国的思法照旧很好意思好的,接下来就看咱们奈何破局了。
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